Физика свободно локализованного СВЧ разряда в волновых пучках.
Плазмохимический синтез моно- и поликристаллических алмазных плёнок из газовой фазы.
Разработка высокоскоростного метода осаждения поликристаллических алмазных плёнок в плазме высокой плотности, создаваемой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн.
Исследования физических свойств алмазных плёнок.
Синтез полупроводникового CVD алмаза.
Разработка устройств твердотельной электроники, акустоэлектроники, оптики на основе алмазных плёнок.
Лазерная резка и механическая обработка (шлифовка) алмазных материалов.
Разработка активных компрессоров СВЧ импульсов с распределенными плазменными переключателями.
Исследование условий возникновения и подавления мультипакторного разряда на поверхности диэлектриков.
СВЧ разряд в двух пересекающихся волновых пучках, частота излучения 40 ГГц
СВЧ разряд в реакторе над комбинированной пластиной моно- и поликристаллического CVD алмаза в процессе сращивания, частота излучения 2.45 ГГц
Пластины поликристаллического CVD алмаза, шлифованная (d=50 мм, h=1.5 мм) и нешлифованная (d=75 мм, h=0.5 мм)
Монокристаллический CVD алмазный слой на подложке из HPHT алмаза
