Отделение физики плазмы и электроники больших мощностей
 
 
 
   

Отдел физики плазменных технологий


ENGLISH

В 1995 году в ИПФ РАН была создана лаборатория физики СВЧ разряда, в 2009 году она была переименована в лабораторию физики СВЧ разряда и синтеза углеродных материалов, а в 2014 преобразована в отдел физики плазменных технологий, состоящий из двух лабораторий:

 - Лаборатория алмазной электроники (зав.лаб. Вихарев А.Л, в.н.с., д.ф-м.н)
 - Лаборатория физики СВЧ разряда (зав.лаб. Горбачёв А.М., с.н.с., к.ф-м.н.)

Основные направления исследований:

  • Физика свободно локализованного СВЧ разряда в волновых пучках
  • Плазмохимический синтез моно и поликристаллических алмазных плёнок из газовой фазы
  • Разработка высокоскоростного метода осаждения поликристаллических алмазных плёнок в плазме высокой плотности, создаваемой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн
  • Исследования физических свойств алмазных плёнок
  • Синтез полупроводникового CVD алмаза
  • Разработка устройств твердотельной электроники, акустоэлектроники, оптики на основе алмазных плёнок
  • Лазерная резка и механическая обработка (шлифовка) алмазных материалов
  • Разработка активных компрессоров СВЧ импульсов с распределенными плазменными переключателями
  • Исследование условий возникновения и подавления мультипакторного разряда на поверхности диэлектриков
СВЧ разряд в двух пересекающихся волновых пучках,
частота излучения 40 ГГц
СВЧ разряд в реакторе над комбинированной пластиной моно- и поликристаллического CVD алмаза в процессе сращивания, частота излучения 2.45 ГГц

Пластины поликристаллического CVD алмаза, шлифованная (d=50мм, h=1.5мм) и нешлифованная
(d=75мм, h=0.5мм)

Монокристаллический CVD алмазный слой на подложке из HPHT алмаза

Институт прикладной физики РАН,
Ульянова, 46, ГСП-120, Нижний Новгород, 603950

Телефон: +7-(831) 416-49-60
Факс:

+7-(831) 416-06-16

E-mail: val@appl.sci-nnov.ru